Hovedmultat BF -termoelement

Oxidationsdiffusionsovnen er et vigtigt procesudstyr til produktion af PV -celler. Det blander og diffunderer sporemængder af bor, fosfor og andre elementer på siliciumskiven ved høje temperaturer for at fremstille PN -kryds og sammensatte integrerede kredsløb fra det.

Produkter Beskrivelse

Det er almindeligt at bruge termoelementer, der måler både de indre og ydre dele af ovnen til at kontrollere den indre temperatur i diffusionsovnen, der kunne udføre oxidationsprocessen. Hver specificerede temperaturzone har en ydre og indre termoelement for at sikre, at målingsresultaterne er pålidelige. De indvendige termoelementer bruges til at måle skiveremperatur, den har ofte 3 ~ 9 målpunkter, der repræsenterer skivens temperatur nøjagtigt. De ydre termoelementer bruges til at føle den ydre overflade af ovnrøret, hver har kun et par ledninger til at give en indirekte måling af ovnen. Normalt er temperaturen på oxidationsprocessen lavere end diffusionsprocessen, således kunne K- og N -type hovedpoint -bf -termoelement implementeres.

Tekniske parametre	Hovedmultat BF -termoelement
Tekniske parametre	Indenfor
Type	K,N
Ledning eller mims diameter	φ2~4
Arbejdstemp (grad)	0~950
Nøjagtighed (grad)	± 1,5 eller 0. 4%· t
Beskyttende rørlængde (MM)	Mindre end eller lig med 4000
Beskyttende rørdiameter (MM)	φ14~22
Beskyttende rørmateriale	310s eller 321
Hot End Struktur	Isoleret
Antal point	3 ~ 9 point
Afslutning	Lille stik
Kompensationstråd	Kx (nx) {{0}} × 0,5fpf
Strukturkarakteristika	Let at adskille, T/C for ethvert punkt kan fjernes om nødvendigt