Diffusionsovnen, der kan udføre oxidationsprocessen, er sammensat af en ovnramme, en varmeapparat, en opvarmningskontrolindretning, en temperaturmålingsenhed, et kvartsovnsrør, en push-pull-bærebakke, noget gassti og en udstødningsgasbehandlingsindretning. Kravene til temperaturstyring for denne form for diffusionsovne er som følger:

Opvarmningstemperatur	Omgivende -1100 grad	Kontrolnøjagtighed	± 2 grad
Maksimal opvarmningshastighed	15 grader /min	Temp -ensartethed	± 0. 5 grader /760mm
Maksimal afkølingshastighed	5 grader /min	Stabilitet	± 0. 5 grader /24 timer

Oxidationsdiffusionsovnen bruger generelt termoelementer inden for og uden for ovnen til at dynamisk kontrollerer temperaturen. Hver temperaturzone er udstyret med en inde og en uden for termoelementet for at sikre pålideligheden af temperaturkontrollen. S Type Semiconductor Termoelement (almindelig praksis bruger multi-punkts termoelement, der har 3-9 Forskellige pletter til at gribe temperaturinfo) vælges ofte til at være den indvendige termoelement, der bruges til at fornemme temperaturen på siliciumskiven direkte og kan oversættes til præcis wafer temperaturdisplay.

Produkter Beskrivelse

Duchin Instrument developed types of structures for multi-point thermocouple, multi-point thermocouple calibration equipment for experiments, a type of cold-junction structure formulti-point thermocouple, a type of terminal packaging structure for multi-point thermocouple, types of composite metal protection tube of multi-point thermocouple for oxidation furnace, and other proprietary technologies to meet the requirements of diffusion Ovntemperaturføling. De tekniske parametre for S -typen Semiconductor Thermocoille Specialiseret til fotovoltaisk udstyr er som følger:

Tekniske parametre	Intern termoelement
Type	S,R
Ledning eller mims diameter	φ0.35~0.5
Arbejdstemp (grad)	0~1100
Nøjagtighed (grad)	±1.0
Beskyttende rørlængde (MM)	Mindre end eller lig med 4000
Beskyttende rørdiameter (MM)	φ12~18
Beskyttende rørmateriale	Kvarts
Hot End Structure	Udsat
Antal point	3 ~ 6 point
Afslutning	Lille stik
Kompensationstråd	SC {{0}} × 0,5fpf
Strukturkarakteristika	At samle T/C i kombination for hvert punkt er ret vanskeligt